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納米深度3D形狀顯微檢測儀

簡要描述:納米深度3D形狀顯微檢測儀3D圓形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或鐳射,關(guān)機(jī)快又安全,維護(hù)成本更低。

  • 產(chǎn)品型號:AE-100M-NS10
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-12
  • 訪  問  量:1462

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詳細(xì)介紹

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納米深度3D形狀顯微檢測儀

納米深度3D形狀顯微檢測儀不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序,即可在非接觸、無破壞、

普通大氣環(huán)境下完成3D納米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,

更可提供鏡面表面的納米級粗糙度和臺階高度分析。

納米深度3D形狀顯微檢測儀具有的測量能力,可在幾秒內(nèi)就完成整個視場的掃描,得到

測量樣品的3D圓形與高度數(shù)據(jù),檢測速度與深度量測能力優(yōu)于逐點(diǎn)逐面掃描的共焦掃描顯微鏡,

3D圓形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或鐳射,關(guān)機(jī)快又安全,維護(hù)成本更低。

無論是 拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(zhì)(例如石英),只要有超過1%以上的反射率

就能夠被檢測。適合各種材料與微元件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含:

1、觸控面板(Touch Panel)

2、太陽能板(Solar Cell)

3、晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

5、微機(jī)電元件(MEMS Components)

6、平面液晶顯示器(LCD)

7、高密度線路印刷電路板(HDI PCB)

8、IC封裝(IC Package)

9、精密微機(jī)械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

10、以及其它材料分析與元件微表面研究。

納米深度3D形狀顯微檢測儀

AE-100M-NS10
移動臺(mm)
平臺尺寸150*150,行程80*60
鏡筒放大倍率
1.0
物鏡放大倍率
10X
20X
50X
觀察與量測范圍(mm)
0.43*0.32
0.21*0.16
0.088*0.066
光學(xué)解析度(μm)
1.15
0.86
0.62
收光角度(Degrees)
17
23
33
工作距離(mm)
7.4
4.7
3.4
感測器解析度
640*480像素
Z軸移動范圍
45mm ,手動細(xì)調(diào)
Z軸位置數(shù)位顯示器
解析度0.5μm
機(jī)臺重量
50kg
載重
1kg
傾斜調(diào)整平臺
雙軸/手動調(diào)整
高度測量
測量范圍
100μm(400μm,選配)
量測解析度
0.1nm
重復(fù)精度(σ)

≤0.1%(量測高度:>10μm)

≤10nm(量測高度:1μm~10μm)

≤5nm(量測高度:<1μm)

 

量測控制
自動
光源
光源類型
白光LED燈箱
平均使用壽命
30000小時
資料處理與顯示用電腦
中央處理運(yùn)算單元
雙核心以上CPU
影像與資料顯示屏幕
17〞液晶熒幕
作業(yè)系統(tǒng)
Windows7
電源與環(huán)境要求
電源
AC110V/220V,50Hz/60Hz
環(huán)境振動
VC-C等級以上
量測與分析軟體
量測軟體/分析軟體

ProfileViewer軟體:

具VSI/PSI量測模式、ISO粗糙度/階高分析、

多樣的2D和3D觀測視角圖、圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換、報表輸出等。

1、使用20X物鏡量測階高標(biāo)準(zhǔn)重復(fù)30次的結(jié)果


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